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从光谱图看懂光学薄膜:从紫外到远红外,覆盖全行业应用

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  • 发布时间: 2026-10-16
做光学镀膜的同行,很多人每天都在和膜料、蒸发源、镀膜机打交道,但很少站在全光谱视角,看懂光学薄膜到底能落地在哪些赛道。
今天通过光谱图,把从紫外、可见光、近红外、光通讯一直到远红外的波段, 展开聊聊。

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🔹紫外光区(<420nm):半导体光刻核心战场

波段覆盖:
ArF(氟化氩准分子激光) 193nm、
KrF(氟化氪准分子激光)248nm、
XeCl(氯化氙准分子激光)308nm、
I-line(汞灯 i 线(也叫 I 线)) 355nm、
H-line(汞灯 h 线)405nm、
G-line(汞灯 g 线)436nm。
这个区域是半导体曝光设备的主场,ASML 光刻机、液晶面板曝光机、激光退火设备都离不开紫外光学薄膜。

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典型膜系产品:
Stepper AR/HR,193nm、248nm 紫外增透膜
G/H/I 线带通滤光片、紫外反射镜
308nm ELA 激光 AR 膜、355nm 激光增透膜、紫外边缘滤光片
下游应用:
光刻机、面板曝光、激光退火、紫外杀菌、激光切割。
紫外波段对膜层材料、真空洁净度要求极高,膜层吸收、应力控制,是工艺最大难点。

🔹可见光区(420nm~680nm):消费光学最庞大市场

我们最熟悉的光学镜头、相机、生物光学,都落在这个区间。

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典型膜系:
镜头 AR/HR、冷镜、生物荧光滤光片、截止滤光片、彩色滤光片、UV-IR 截止滤光片、分光镜、激光反射镜、金属反射镜、陷波滤光片、中性密度 ND 滤光片、ITO/AZO 导电膜、黑色吸收膜 Black Film。
下游场景:
投影机镜头、监视器、AR/VR、LED、太阳能电池、晶圆级镀膜、HUD 抬头显示。
也是现在汽车光学、车载 HUD、AR 眼镜的核心赛道,大量光学零件都需要可见光波段镀膜。

🔹近红外区(680~1260nm):传感与激光加工热门

代表波长:850nm、940nm、1064nm。
常用薄膜产品:
热镜 Hot mirror,940nm/850nm 带通滤光片、1064nm 激光增透膜。
应用集中在激光切割、LiDAR 激光雷达、人脸识别、心率传感、隔热膜。 车载激光雷达、消费电子 3D 结构光,大量使用 850/940nm 近红外滤光片,也是近几年镀膜订单增长最快的领域之一。

 

🔹光通讯波段(1260~1610nm):光纤通信核心

DWDM、CWDM、Bidi 滤光片,是光通信模块的核心元件。 5G 光收发模块、半导体激光器,依靠这些窄带滤光片实现信号分合波。 这个领域对膜层厚度精度、温度漂移控制要求极其严苛,属于高端精密光学薄膜。

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🔹远红外区(3μm~12μm):红外热成像与气体传感

分为 3-5μm 中红外、8-12μm 远红外窗口。
产品:
气体传感器滤光片、激光反射镜、3~5μm 增透膜、8~12μm 增透膜。
下游:热像仪、红外测温、气体检测、红外激光切割。

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远红外镀膜难点在于膜料选择,很多常规膜料在长波下吸收变大,蒸发工艺和舟具选型都和可见光完全不同。

写在最后

一张光谱图,串联起半导体光刻、消费光学、车载 HUD、激光雷达、光通信、红外热成像六大产业。
光学薄膜不是单一的 “镀一层膜”,不同波段,对应的膜料、蒸发方式、镀膜设备、工艺难点天差地别。
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